精密零件加工是一个复杂而精细的工艺过程，其质量受到诸多因素的影响。以下是一些控制精密零件加工工艺的关键要点：

1. **合理选择加工设备和工具**：选择适合加工要求的设备和工具非常重要。确保设备精度高、稳定性好，工具尺寸、材质和刀具几何参数等要符合加工要求。

2. **严格控制加工工艺参数**：包括切削速度、进给速度、切削深度、切削方式等参数的设定。这些参数的合理选择可以影响加工表面质量、尺寸精度和加工效率。

3. **保证工件和夹具的稳定性**：在加工过程中，工件和夹具的稳定性对加工精度至关重要。要确保工件固定牢靠，夹具刚性好，避免振动和变形。

4. **精确测量和校正**：在加工前后要进行精确的测量和校正，确保加工尺寸和形位公差的准确性。常用的测量工具包括千分尺、游标卡尺、三坐标测量仪等。

5. **选用合适的加工刀具和刀具润滑**：选择合适的刀具种类和刀具润滑方式，确保切削效果良好，避免刀具磨损过快或切屑堆积。

6. **加工过程中的冷却和润滑**：在加工过程中，要保证适当的冷却和润滑，以降低工件和刀具的温度，减少热变形和刀具磨损。

7. **加工工序的控制**：根据零件的特点和要求，合理安排加工工序，控制加工顺序和加工方法，确保每个加工工序的质量。

8. **质量控制和检验**：加工完成后要进行严格的质量控制和检验，包括外观检查、尺寸测量、形位公差检验等，确保零件符合要求。